ゲッターポンプ(NEGポンプ)

	特性と用途
	ゲッターポンプ(NEGポンプ)は、粒子状の非蒸散ゲッターを高温で焼結して組み立てる真空デバイスであり、真空環境で残留ガスを大量に除去し、高い真空度を得るために適用します。主に超高真空または極限真空を必要とする検査装置または実験装置に使用されます。 活性化されると、エネルギー入力なしで稼働し、振動や磁場に厳しい要件となる場合特に適用しています。 水素などの活性ガスに対して大きな吸引速度を有し、超高真空下では低下しない。
	特徴及び関連データ
	製品タイプ ポンプ中身長さ（mm） ゲッターの重さ （g） フランジサイズ 活性化パワー （W） 活性化温度 （℃） 再生可能回数 NP-TMKZ-100 62 18 CF35 25 450 ≥100 NP-TMKZ-200 88 35 CF35 45 450 ≥100 NP-TMKZ-400 135 70 CF35 85 450 ≥100 NP-TMKZ-1000 142 180 CF63 220 450 ≥100 NP-TMKZ-1600 145 420 CF100/CF150 450 450 ≥100 NP-TMKZ-2000 195 630 CF100/CF150 680 450 ≥100
	製品タイプ   吸気効率(l/s)     トータル吸気量　(Torr l) H2 H2O N2 CO H2 H2O N2 CO NP-TMKZ-100 100 75 25 45 600 5 0.175 0.35 NP-TMKZ-200 200 145 45 90 1160 10 0.35 0.7 NP-TMKZ-400 400 290 95 180 1920 20 0.7 1.4 NP-TMKZ-1000 800 580 185 360 5600 50 1.7 3.5 NP-TMKZ-1600 1600 1160 370 720 11520 120 4 8 NP-TMKZ-2000 2000 1450 450 900 17280 180 6 12
	建议用户采用恒流电源对本吸气剂泵进行通电加热激活。推荐的激活条件：通电激活450℃维持45min，激活全过程中系统真空度需优于0.01Pa。适当延长时间将有利于吸气剂泵的充分激活。如不能达到标准激活温度，则必须延长激活时间来补偿。必须保证激活过程真空腔体的真空度，如真空度过低会出现热丝腐蚀、加热子溅射、吸气材料污染、激活温度异常等不良情况。 吸气剂泵在激活过程中会释放一定量的气体，为保证吸气剂泵激活过程中的真空度。我们建议吸气剂泵应在动态真空下激活，激活过程中从1.5A电流开始缓慢逐步提高，直至达到预定电流值，须避免吸气剂泵温度急剧变化导致的放气过快、电参数变化等情况。
	推奨する活性化条件
	このゲッターポンプは、定電流電源を使用して通電加熱活性化することをお勧めします。 推奨活性化条件:通電活性化450℃の場合、45minを維持し、活性化プロセス全体でシステム真空度は0.01Paよりも優れている必要があります。 適切な時間を延長すれば、ゲッターポンプの完全活性化に有益である。 標準活性化温度に達しない場合は、時間を延長して補正する必要があります。 活性化プロセス中、真空チャンバの真空度を満足必要がある、もし真空度が低すぎると、ワイヤを腐食し、材料を汚染し、活性化温度異常など不良が発生する恐れがあります。 ゲッターポンプは活性化中に一定量のガスを放出します、その過程中に真空を確保するために、ゲッターポンプは動的真空下で活性化することをお勧めします。活性化中に1.5Aの電流から所定の電流値に達するまで徐々に上昇し始め、ゲッターポンプの温度の急激な変化による過速な排気、電気パラメータの変化などを避ける必要があります。
	注意事項：
	●ゲッターポンプのハウジングとフランジは、稼働する時に高い温度を有し、火傷を防ぐために注意を払う。 ●ゲッターポンプが高温の場合、汚染、消耗故障を避けるために真空状態を維持して下さい。 ●電源を接続するときは、電源とフランジ電極がしっかりと接続されていることを確認し、他の部品との絶縁に注意してください。 ●加熱活性化する前に、システムが要件を満たす真空状態にあることを確認してください。 ●特殊なケースでは、ゲッターポンプがC、N、Oなどのガスに対して高い吸気速度を持つように、稼働温度を200℃～250℃の範囲(通電3A)に維持することができ、このとき、ゲッターポンプが達成できる限界真空度が低下します。