吸气剂泵（NEG泵)

	特征和用途
	非蒸散型吸气剂泵（NEG泵）是一种将非蒸散型吸气剂阵列化组合而成的真空设备，应用在真空环境中大量消除残余气体，获得较高的真空度。主要用于需要超高真空或极高真空的检测设备或实验设备。一旦被激活，无需能源输入即可工作，特别适用于对振动、磁场有苛刻要求的场合。其对氢气等活性气体拥有极大的抽速，并且在超高真空下不会降低。
	基本特征和数据
	型号规格 泵芯长度 mm 吸气剂质量 g 法兰规格 激活功率 W 激活温度 ℃ 再生次数 NP-TMKZ-100 62 18 CF35 25 450 ≥100 NP-TMKZ-200 88 35 CF35 45 450 ≥100 NP-TMKZ-400 135 70 CF35 85 450 ≥100 NP-TMKZ-1000 142 180 CF63 220 450 ≥100 NP-TMKZ-1600 145 420 CF100/CF150 450 450 ≥100 NP-TMKZ-2000 195 630 CF100/CF150 680 450 ≥100
	型号规格   抽速 (l/s)     吸气容量 (Torr l) H2 H2O N2 CO H2 H2O N2 CO NP-TMKZ-100 100 75 25 45 600 5 0.175 0.35 NP-TMKZ-200 200 145 45 90 1160 10 0.35 0.7 NP-TMKZ-400 400 290 95 180 1920 20 0.7 1.4 NP-TMKZ-1000 800 580 185 360 5600 50 1.7 3.5 NP-TMKZ-1600 1600 1160 370 720 11520 120 4 8 NP-TMKZ-2000 2000 1450 450 900 17280 180 6 12
	推荐激活条件
	建议用户采用恒流电源对本吸气剂泵进行通电加热激活。推荐的激活条件：通电激活450℃维持45min，激活全过程中系统真空度需优于0.01Pa。适当延长时间将有利于吸气剂泵的充分激活。如不能达到标准激活温度，则必须延长激活时间来补偿。必须保证激活过程真空腔体的真空度，如真空度过低会出现热丝腐蚀、加热子溅射、吸气材料污染、激活温度异常等不良情况。 吸气剂泵在激活过程中会释放一定量的气体，为保证吸气剂泵激活过程中的真空度。我们建议吸气剂泵应在动态真空下激活，激活过程中从1.5A电流开始缓慢逐步提高，直至达到预定电流值，须避免吸气剂泵温度急剧变化导致的放气过快、电参数变化等情况。
	注意事项
	●在激活和工作时，吸气剂泵外壳和法兰具有较高的温度，注意防止烫伤。 ●在吸气剂泵处于高温时，必须处于真空条件中，避免污染、消耗而失效。 ●在连接电源时，确保电源与法兰电极的连接牢固，并注意与其他部位的绝缘。 ●在加热激活前注意确保系统处在满足要求的真空条件下。 ●特殊情况下，为使吸气剂泵对C、N、O等气体具有较高抽速，可以将工作温度维持在200℃～250℃范围内（通电2.5A），此时吸气剂泵所能达到的极限真空度有所降低。